1. Dễ sử dụng: Thiết kế để bàn nhỏ gọn vận hành dễ dàng
Lắp đặt
Dòng thiết bị TM3030 với thiết kế nhỏ gọn giúp tiết kiệm không gian, trọng lượng nhẹ, có thể lắp đặt trên bàn thí nghiệm. Không cần nước làm mát, quá trình lắp đặt nhanh và dễ dàng, chỉ yêu cầu nguồn cấp điện 100-240VAC.
*: Yêu cầu bàn thí nghiệm chịu được tải trọng 100Kg.
Tích hợp các chức năng tự động, Thu ảnh ban đầu chỉ cần một kich-chuột “START”
Việc thu ảnh với TM3030 không thể đơn giản hơn. Chỉ cần kích "Start" hệ thống sẽ tự động bật chùm tia, chỉnh hội tụ, điều chỉnh tương phản và sáng tối cũng như hiển thị hình ảnh tại một chế độ cho phép quan sát dễ dàng với độ phóng đại ban đầu x100
2. Không yêu cầu chuẩn bị mẫu: Khả năng ứng dụng linh hoạt nhờ dải phóng đại rộng và có nhiều chế độ hoạt động.
Dễ dàng thu được ảnh của mẫu không dẫn điện
Khi quan sát một mẫu không dẫn điện bằng kính hiển vi điện tử (SEM) trong chế độ chân không cao, do tính chất không dẫn điện của mẫu, các điện tử sẽ tích tụ trên bề mặt mẫu, gây ra hiện tượng tích điện trên bề mặt dẫn đến chất lượng ảnh thu được bị kém. Để tránh hiện tượng này, các mẫu không dẫn điện thường thường được phủ lên bề mặt một lớp kim loại mỏng trước khi quan sát. Quá trình này không chỉ tốn thời gian mà còn ảnh hưởng tới hình ảnh quang học bề mặt chi tiết cũng như kết quả phân tích EDX. Model TM3030 khắc phục được vấn đề này với chế độ giảm lóa hay giảm tích điện “charge-up reduction mode” . Chế độ giảm lóa sử dụng chức năng chân không buồng mẫu thấp để triệt tiêu các điện tích.
Kính hiển vi chân không thấp
Sử dụng chế độ chân không thấp bên trong buồng mẫu, sẽ có nhiều phân tử khí trong buồng mẫu hơn. Khi đó những phân tử khí tự do “G” trong buồng mẫu có thể va chạm với chùm tia điện tử tạo ra các ion dương “+”và các electron “e”. Mỗi ion dương sinh ra “+” có thể giúp trung hòa 1 điện tử dư thừa “-“ tích tụ trên bề mặt mẫu. Bằng cách này các điện tử dư thừa tích tụ trên bề mặt mẫu bị loại bỏ, giúp làm giảm hoặc loại bỏ hiện tượng tích điện trên bề mặt.
3. Chất lượng hình ảnh tuyệt vời: Nâng cao độ phân giải cho ảnh chi tiết bề mặt
Chế độ 5kV
Chế độ thế gia tốc 5 kV thích hợp cho cho quan sát chi tiết bề mặt. Trong chế độ này bên cạch hình ảnh địa hình thông thường, TM3030 cho phép thu được ảnh thành phần cấu tạo của mẫu. Một ưu điểm nữa của chế độ thế gia tốc 5kV là cho phép thu được ảnh với độ phóng đại cao do sự cải thiện hệ thống quang học electron.
Nâng cao độ sắc nét và độ tương phản
Các chức năng này được sử dụng để nâng cao chất lượng hình ảnh ở điều kiện quan sát bất kỳ và rất hiệu quả cho các mẫu quan sát ở độ phóng đại cao.
4. Đầu dò tín hiệu SE/BSE cải tiến
Model TM3030Plus được trang bị một đầu dò điện tử thứ cấp (SE) và một đầu dò điện tử tán xạ ngược (BSE) loại được trang bị trong FE-SEM hay VP-SEM. Lưu ý: Model TM3030 hiện tại chỉ có duy nhất một đầu dò BSE (không có đầu dò SE).
Các đầu dò này có thể hoạt động ở điều kiện chân không thấp một cách hiệu quả và có thể thu ảnh SE và BSE mà không cần phủ mẫu.
Ảnh BSE
Cả hai model TM3030 và TM3030Plus điều trang bị đầu dò BSE loại 4 đoạn (segment) độc lập. Bằng cách cộng hoặc trừ tín hiệu của các segmemts cho phép nhấn mạnh sự tương phản thành phần cấu tạo hoặc hình ảnh bề mặt chi tiết, cũng như tạo hiệu ứng đường viền làm nổi rõ mẫu từ một hướng đặc biệt.
Phần mềm 3D-View (tùy chọn thêm) cho phép thu được ảnh 3 chiều mà không cần nghiêng hay cân chỉnh mẫu. Tính năng này tận dụng dữ liệu bề mặt thu được từ bốn hướng khác nhau trên mỗi phân đoạn của đầu dò 4 đoạn BSE.
5. Buồng mẫu lớn
Đế mẫu lớn cho phép giữu mẫu với đường kính mẫu 70mm, chiều cao mẫu lên tới 50mm, phạm vi dịch chuyển mẫu theo chiều XY 35mm.