Vận hành trực quan và đơn giản cho phép thu thập dữ liệu, tạo báo cáo và thêm nhiều tác vụ khác
- Dòng kính hiển vi điện tử để bàn Hitachi TM4000 Series mang đến giải pháp hoàn hảo cho người sử dụng SEM nhằm thu thập dữ liệu chất lượng cao dễ dàng và nhanh chóng trích xuất báo cáo, giúp quy trình làm việc được trôi chảy, linh hoạt.
- Phân tích trên các mẫu đường kính và chiều dày tối đa tương ứng là 80 và 50 mm.
- Hệ thống chân không thân thiện với môi trường, hoạt động hiệu quả cho phép thời gian bơm ngắn hơn và lưu lượng mẫu cao hơn.
- Gá mẫu, phân tích thu thập dữ liệu và tạo báo cáo chỉ trong một vài phút.
Camera Navi (tùy chọn)
Hình ảnh quang học giúp điều hướng đến khu vực quan tâm và hỗ trợ lớp phủ quan sát với chức năng MAP.
Công cụ tạo báo cáo
Lựa chọn các hình ảnh và form mẫu để tạo báo cáo, tùy chỉnh nhanh chóng và hiệu quả.
(Hỗ trợ định dạng: Word®, Excel®, PowerPoint®)
Hệ thống quang học điện tử tiên tiến cho độ phân giải và chất lượng hình ảnh cao
| Model | TM4000Plus | TM4000 |
| Độ phân giải | ×10~×100,000 (Độ phân giải hình ảnh)
×25~×250,000 (Độ phân giải hình ảnh màn hình) |
| Điện thế gia tốc | 5 kV, 10 kV, 15 kV |
| Tín hiệu ảnh | Điện tử tán xạ ngược (BSE)
Điện tử thứ cấp (SE)
Kết hợp (điện tử tán xạ ngược + điện tử thứ cấp) | Nhiễu xạ điện tử (BSE) |
| Chế độ chân không | BSE: Dẫn điện/Tiêu chuẩn/Chống lóa
SE: Dẫn điện/Tiêu chuẩn/Chống lóa
Kết hợp: Tiêu chuẩn/Chống lóa | BSE: Tiêu chuẩn/Chống lóa |
| Chế độ hình ảnh (BSE) | COMPO/Shadow 1/Shadow 2/TOPO |
| Dải dịch chuyển bàn mẫu | X: 40 mm Y: 35 mm |
| Kích thước mẫu, max. | 80 mm (đường kính) , 50 mm (chiều dày) |
| Súng điện tử | Sợi phát điện tử định tâm sẵn |
| Hệ thống dò tín hiệu | BSE: Đầu dò BSE 4-đoạn độ nhạy cao
SE: Đầu dò SE chân không thấp độ nhạy cao | BSE: Đầu dò BSE 4-đoạn độ nhạy cao |
| Chức năng điều chỉnh hình ảnh tự động | Bắt đầu, điều chỉnh tiêu cự, điều chỉnh độ sáng/tối tự động |
| Dung lượng ảnh | 2,560 × 1,920 pixels, 1,280 × 960 pixels, 640 × 480 pixels |
| Định dạng hình ảnh | BMP, TIFF, JPEG |
| Hiển thị dữ liệu | Micron, giá trị micron, độ phóng đại, ngày và thời gian, số ảnh và nhận xét, WD (Khoảng cách làm việc), điện thế gia tốc, điều kiện quan sát, chế độ quan sát, chế độ hình ảnh, tín hiệu phát hiện. |
| Hệ thống chân không
(bơm chân không) | Máy bơm phân tử Turbo
: 67 L/s x 1 unit
Bơm màng: 20 L/min |
| Chức năng hướng dẫn sử dụng | Xoay trường quét, Cài đặt trước độ phóng đại (3 bước), Chuyển đổi hình ảnh (±50 µm @WD 6.0 mm) |
| Chức năng an toàn | Bảo vệ quá dòng, ELCB tích hợp |
| Kích thước / trọng lượng | Máy chính:
330 (rộng) × 614 (sâu) × 547 (cao) mm, 52 kg (bàn mẫu gắn động cơ)
330 (rộng) × 617 (sâu) × 547 (cao) mm, 52 kg (bàn mẫu cơ học)
Bơm màng : 144(rộng) × 270 (sâu) × 216 (cao) mm |